晶圓級可靠性測試系統 WLR0100 -蘇州聯訊儀器股份有限公司

特點

電壓范圍
0-200V 軟件可設
通道硬件獨立限流
0-10mA 軟件可設
監控電流采樣速率
最小 10nA 精度
單板32顆產品輪詢在1秒掃描完成
獨立雙溫區
最高支持 200 度
單板支持通道
32 通道
通道獨立檔位
可滿足精度和量程要求，并且通道獨立
產品異常保護功能
需要有過流過壓保護功能，保護閾值可以設置，過流保護響應時間<100ns, 過沖<5%
老化箱支持氮氣接入保護

功能與優勢

DIP封裝的Burn-in Board
配套Burn-in Board采用金手指結構，下圖為典型的DIP封裝Burn-in Board。
聯訊WLR0100測試軟件平臺為可配置性平臺，包括以下功能：
支持在線產品的在位預檢功能，可以檢測用戶是否插拔接觸良好；
支持老化可靠性任務的靈活編輯和配置，進行可靠性測試；
提供直觀的數據顯示和數據分析功能；
支持用戶權限管控，分工程師，技術員和操作員三個權限級別。

技術指標	支持DUT	DIP or TO247 Burn-in Board
技術指標	測試溫度范圍	(環溫+20)℃～+200℃
電參數	測試參數	測試原始數據、計算結果、系統運行詳細日志的保存
	Channel	高達384 ch
	驅動板	獨立的32 ch的電流、電壓監控
	系統驅動板	12塊驅動板獨立調節電壓、限流
	Vth掃描測試	Range：0V~200V ,Accuracy：0.5%RD±500mV;
	飽和電流測試	≤10mA
	漏電流范圍及精度	Range：1mA~10mA ,Accuracy：0.5%RD±50uA; Range：100uA-1mA ,Accuracy：0.5%RD±500nA; Range：10uA-100uA ,Accuracy：0.5%RD±50nA; Range：1uA-10uA ,Accuracy：0.5%RD±5nA; Range：0nA-1uA ,Accuracy：0.5%RD±500pA;
	電壓源范圍及精度	Range：0V~20V ,Accuracy：0.5%RD±50mV; Range：20V~200V ,Accuracy：0.5%RD±500mV;
	數據監控	支持電壓、電流的監測并上傳PC客戶端，在試驗全過程檢測記錄每個試驗工位的參數，并繪制輸出曲線和Excel數據報告
溫度參數	測試環境條件	環境溫度為+25℃、試驗箱內無試樣無換氣條件下
	測試方法	GB/T 5170.2-2017 溫度試驗設備
	溫度范圍	(環境溫度+20)℃～+200℃
	溫度波動度	≤100℃時：0.4℃(如按 GB/T 5170.2-1996 表示，則為±0.2℃) ≤200℃時：0.4℃(如按 GB/T 5170.2-1996 表示，則為±0.2℃)
	溫度偏差（空載）	≤100℃時：±1.5℃；≤200℃時：±2.0℃
	溫度偏差（滿載）	≤100℃時：±2.0℃；≤200℃時：±3.0℃
氣體參數	流體	N₂、CO₂(常溫,干燥氣體)
	流體壓力	氣源壓力要求： ≥1MPa (10kg/cm2)（101、201、301 型號）； ≥1.5MPa (15kg/cm2)（401 型號）；閥門進口端允許最高壓力： 2.0kg/cm2（101、201、301 型號）; 5.0kg/cm2（401 型號）
	流量	最大流量：30L/min（101、201、301 型號）；250 L /min（401 型號）
	氣源接口	氣源接口要求：快插式氣動管直通，規格φ10mm

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