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        晶圓級可靠性

        EDH3101W

        雙85可靠性測試系統


        聯訊儀器雙85可靠性測試系統 EDH3101W應用于不同材料HBT及pHEMT(增強型/耗盡型)器件高溫高濕環境下的長時間可靠性試驗。EDH3101W雙85老化系統提供的Vds/Vce電源由二級驅動板電源提供,Vgs/Vbe老化電壓由自制可調系統根據Ids/Ice電流值反饋控制供給。試驗過程中系統自動恒定每個試驗工位的Ids/Ic電流、Vds/Vce電壓,確保每個試驗工位自動調整到一致的試驗條件狀態下,并進行實時調節ds/ce端電流,監控gs/be、ds/ce端的電壓、電流,達到可靠性老化篩選的功能。


        特點

        • 大容量

          共支持216顆DIP封裝的老化
        • 監控參數完整

          包括監控GS/BE電壓電流,DS/CE電壓電流
        • 高溫高濕可靠性

          恒IDS/ICE控制老化功能
        • 圖形化顯示不同監控參數值

          包括溫度、GS/BE電壓電流,DS/CE電壓電流
        • 支持軟件定制開發

          可連接客戶MES系統和數據庫
        • 防呆功能

          支持開門報警,開門斷電等
        • 數據保護

          內置UPS電源,有效保護老化過程中異常數據的丟失
        • EOS、ESD、EHS

          滿足EOS、ESD防護及EHS要求

        功能與優勢

        • 軟件界面簡約直觀

          聯訊儀器的EDH3101W測試軟件平臺為可配置性平臺,用戶界面簡約直觀。
        系統功能 外形尺寸(mm) 800*2000*1700+1000*2000*1000
        支持夾具類型 標準DIP夾具
        系統支持TO數量 218個
        系統溫區 獨立兩個溫區
        SN批量輸入 支持夾具上條碼識別,批量輸入產品SN
        MES系統接口 支持定制開發對接客戶的MES系統和數據庫
        數據保存 測試原始數據、計算結果、系統運行詳細日志的保存
        系統供電 380V
        溫度控制 溫度范圍 常溫到85℃
        溫度升溫速度 >3℃/分鐘   (空載)
        >1.5℃/分鐘(滿載)
        溫度控制精度 0.1℃
        溫度準確性 ±1℃
        溫度均勻性(空間9點產品位置) ±2℃滿載(≤80℃)
        電器參數 驅動板類型 每個通道獨立操作和控制
        VGS/VBE電壓范圍 -5V~5V        精度<1%FS
        IGS/IBE電流范圍 -2mA~2mA  精度<1%FS
        VDS/VCE電壓范圍 0~15V         精度<1%FS
        IDS/ICE電流范圍 0~100mA     精度<1%FS
        恒IDS/ICE老化功能 自動調節VGS/VBE,使IGS/ICE恒定電流老化
        安全保護 正常操作下電 正常
        正常操作上電 正常
        市電掉電 正常
        市電上電 正常
        ESD 使用防ESD材料
        表面電阻:1×10^5Ω< X<1×10^9Ω;
        摩擦電壓:<100V; Grounding;
        系統中所有孤立導體必須接地處理,所有儀表必須接地處理,機架必須接地處理,接地電阻<4ohm
        鼠標鍵盤需要防ESD處理
        安全 設備沒有尖銳棱角,沒有漏電風險
        清潔 系統沒有掉屑,掉漆和生銹現象

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