AL3500A-蘇州聯訊儀器股份有限公司

晶圓級老化

AL3500A

晶圓自動上下料系統

AL3500A是配合聯訊儀器高壓晶圓老化系統WLR3500進行上下料操作，屬于配套設備，可以輔助操作人員完成晶圓的對位和夾具的自動安裝。

手冊CN

手冊EN

申請樣機

特點

適配產品
4-6寸晶圓自動Load/Unload
產品厚度>150 um
數量
晶圓數量≤25 pcs
夾具數量≤6 pcs
裝載速度
<5 min/pcs
扎針定位精度
±50 um

功能與優勢

系統架構
工作流程

產品特性	使用產品封裝	4寸，6寸wafer
	系統尺寸	1500 mm(W)×1800 mm(H)×1400 mm(D)
	系統功耗	3 kW
技術指標	晶圓數量	≤25 pcs
	夾具數量	≤6 pcs
	裝載速度	<5 min/pcs
	扎針定位精度	±50 um

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