WAT6200S-蘇州聯訊儀器股份有限公司

半導體參數測試

WAT6200S

WAT串行參數測試系統

WAT6200S是一臺串行半導體參數測試系統，可靈活配置Pin數，最多支持48Pin，兼容市場主流WAT程序探針卡、應用等。

手冊CN

手冊EN

申請樣機

特點

支持多種晶圓的WAT測試
支持 Si/GaN/SiC
靈活配置Pin數
最多支持48Pin，可靈活配置Pin數
自研SMU
基于商用或聯訊儀器自研SMU板卡
高精度
電流測量精度<10pA，分辨率10fA，最大范圍1A；
電壓測量精度<100μV，分辨率100nV，最大范圍200V
電容測試頻率
1kHz到1MHz，1fF到100nF測量范圍
支持所有主流Prober
TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL，TSK UF200/UF3000/UF3000EX等
高適配、全兼容
適配Keysight 4070/4080機臺所用的探針卡
并兼容測試程序和Algo算法
高效的ptSemight軟件環境
軟件支持SECS/GEM，可接入客戶EAP

參數/配置	功能
系統pin數	3 - 48 pin
SMU數量	3 – 8個
標準SMU	200 V/1 A
Chuck Bias SMU	200 V/1 A
開關矩陣	10x48，<5 fA漏電流
最小電壓分辨率	100 nV
最小電流分辨率	10 fA
采樣速度	>1 M/s
最小電流測量精度	10 pA
最小電壓測量精度	100 μV
漏電流	<1 pA
電容范圍	100 nF
電容測量精度	1%
主要測量項目	Id-Vd， Id-Vg， Vth， BV， Ig， Ioff， Gm
	MIM_CAP， C & G
	Ic-Vc， BETA， BV
	Ron， R_tlm， Rsh_van
	Spot， Sweep， Search
	Kelvin & Non-Kelvin
	Differential Voltage
	Frequency
	HCI， BTI/NBTI， TDDB
DUT類型	MOSFET，BJT， Diode， Resistor， Capacitor等
探針卡適配器	兼容 Keysight 4070/4080 系列探針卡
工廠自動化	SECS/GEM (E5/E30/E37/E84/E90/E94)

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