WAT6200P-蘇州聯訊儀器股份有限公司

半導體參數測試

WAT6200P

WAT并行參數測試系統

WAT6200P 是一臺并行半導體參數測試系統，整套系統滿配24個SMU。聯訊儀器使用自主可控的SMU技術，性能穩定，交期可控，國產自研，適用于半導體行業的WAT測試。

手冊CN

手冊EN

申請樣機

特點

標準Pin數
支持標準 24 pin
靈活Pin數
Pin數 = SMU數量，支持全Pin并行測試
自研SMU板卡
支持聯訊儀器自研HRSMU
靈活配置板卡
可靈活配置和選擇板卡種類和板卡數量
漏電流
帶Probe Card的整機噪聲(整機漏電流)低于1 pA；
高精度
電流測量精度<1 pA，分辨率10 fA，最大范圍1 A；
電壓測量精度<100 μV，分辨率100 nV，范圍最大200 V
高適配、全兼容
支持適配 Keysight 4080 系列探針卡，
支持外接第三方儀表如LCR表和DMM
ptSemight 軟件環境
軟件支持所有EAP，SECS/GEM自動化標準協議

系統功能
參數	指標
系統pin數	24 pin
SMU通道數量	全獨立SMU通道，SMU通道數=系統pin數
高精度SMU（HRSMU）	擴展板卡：200 V/100 mA，1 pA精度，1 fA分辨率
最小電壓分辨率	100 nV
最小電流分辨率	1 fA
采樣速度	>1 M/s
最小電流測量精度	0.5 pA
最小電壓測量精度	30 μV
漏電流	<1 pA
電容范圍	100 nF
電容測量精度	1%
主要測量功能	Id-Vd, Id-Vg, Vth, BV, Ig, Ioff, Gm
	MIM_CAP, C&G
	Ic-Vc, BETA, BV
	Ron, R_tlm, Rsh_van
	Frequency
	Pulse
	Spot, Sweep, Search, Kelvin
	HCI, BTI/NBTI, TDDB
DUT類型	所有WAT測試Process part和Device part，MOS， Field， BJT， Diode， Resistor， Capacitor， etc.
探針卡適配器	兼容Keysight 4080 系列探針卡
工廠自動化	實現EAP SECS/GEM標準自動化測試流程，支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等協議

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