聯訊儀器 sCT9001 全自動硅光晶圓測試機-蘇州聯訊儀器股份有限公司

特點

自動/半自動
支持全自動與半自動方式上下晶圓片
晶圓尺寸
支持6/8寸晶圓
測試溫度
支持測試溫度范圍室溫~150 ℃（其它溫度可定制）
測試功能
支持光光測試，光電測試，電電參數測試
DC/AC
支持DC與AC測試
光柵耦合
支持光柵垂直耦合
高效率
針對不同類型芯片，支持快速更換不同類型針卡
軟件功能
軟件支持增加客戶數據庫與MES功能

功能與優勢

高精度探針臺
?晶圓上料模式支持全自動模式與半自動模式作業，適用于實驗室驗證與大規模量產使用；
?全閉環高精度運動控制系統，自動精度補償，定位精度高達3um；
?特殊機構設計與校準系統確保晶圓片在Chuck上具有更高的平面度與探針Z方向的垂直度；
?配置高清變倍CCD，加電PAD清晰可見，且能同時顯示低倍與高倍多視野畫面。
?內置一體化防震設計，且可隔離外部震動，確保良好的測試穩定性；
耦合測試模組：
?耦合測試模組包含耦合光探針、DC直流探針與RF射頻探針；
?光探針支持單路耦合與雙路耦合；
?光探針帶有高精度測高儀，確保不同芯片間入射光纖端面到芯片表面高度的一致性；
?光纖耦合模組由三維絲杠電機配合三維高精度壓電陶瓷模組組成，確保光路耦合效率與耦合重復性；
?采用標準高精度耦合控制器，全閉環控制+硬件同步，提高耦合精度與耦合速度；
?探針卡固定座的設計更加方便探針卡的更換，便于不同產品或不同測試項目實現快速更換探針卡；

測試參數
參數類型	測試參數	參數指標	定義
O/O	Waveguide Loss	dB/cm	波導傳輸損壞
O/O	Coupling Strength	%	耦合效率，DUT接收到的光功率與入射光功率的比值
O/E	PD Responsivity	A/W	PD響應度，PD探測器將接收到的光轉換成電流的效率
O/E	Modulator ER	dB	靜態消光比，調制器在不同偏置電壓下吸收后光功率的最大值與最小值的比值
E/E	PD Dark Current	nA	PD暗電流，在無光條件下對PD增加偏置電壓測得的反饋電流
	Heat Resistance	Ω	熱阻抗
	Modulator Resistance	Ω	調制器電阻
系統測試指標
序號	規格	指標
	支持晶圓尺寸	4寸~8寸
	溫度范圍	RT~150℃
	溫度均勻性	<±0.5℃
	25℃~150℃	<15 mins
	150℃~25℃	<20 mins
	上下料方式	自動與手動
	測試類型	DC測試，可升級支持AC
	測試項目	O/O，O/E，E/E
	Wafer Map功能	可編輯且自動生成Map，且顯示每個Die坐標
	分Bin功能	支持分Bin，多種顏色區別測試結果，且顯示不同顏色數量與比例
	自動清針功能	支持
	CCD自動聚焦功能	支持
	相機監控畫面	支持低倍與高倍畫面多視野
	EMI屏蔽	>20dB @ 1kHz-1MHz
	光譜噪聲基底	≦150 dBVrms/rtHz(≦1MHz)
	系統AC噪聲	≦15 mVp-p(≦1GHz)

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