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        激光器測試

        CT6201-DC

        CoC測試系統


        聯訊儀器 CT6201 是全自動的CoC測試系統,便捷高效使其成為 CoC大規模量產的最佳選擇。采用和聯訊儀器 BI6201 相同的測試夾具,降低了被測芯片上下料的流程,同時也消除了上下料過程中EOS/ESD潛在風險。專利設計的光功率耦合系統設計,確保了光學耦合和光譜測量的快速性和重復性。特有的雙測試載臺設計,每個載臺可以獨立溫控,節省升降溫等待的時間,配合 CoC 夾具雙側并行測試,大大提高了測試效率。



        特點

        • 溫度范圍大,穩定性高

          溫度控制范圍大:25-100 ℃ 
          溫度穩定度高:<±0.1 ℃
        • 測試效率高

          雙測試載臺,支持雙側面并行測試
          自動上下夾具,降低了人為參與的復雜性和出錯概率
          極高的測試速度:每個CoC測試時間<9s
        • 重復性高

          閾值電流重復性:<±1%
          功率重復性:<±1%
          波長重復性:<±0.15 nm
          SMSR重復性 <5 dB
        • 擴展性高

          支持直流或者脈沖電源驅動激光器
          集成聯訊儀器精密源表

        系統參數 芯片類型CoC/CoS
        夾具類型 支持CoC老化系統相同的夾具
        標準 48 pcs 芯片夾具(可以定制)
        上下夾具 自動上下夾具
        夾具ID掃描識別 自動夾具Barcode掃描識別
        并行測試 CoC夾具雙側面并行測試
        標準樣品控制 軟件支持標準樣品管控功能。如果標準樣品在本機臺測試超過時間周期(可配置),系統自動告警
        測試機臺控制 軟件支持測試機臺管控功能,如果相同夾具在老化前后分別在不同的測試機臺進行測試,軟件會自動產生告警提示。
        測試配置管控 軟件支持測試配置管控,包括測試儀表,測試算法,測試序列,測試結果判斷等。
        測試數據 支持用戶要求的所有測試數據/支持MES相關的需求
        電學指標 SMU類型 標準精密源表
        直流電流 3 A
        I/V 源分辨率 10 fA/100 nV
        I/V 測量分辨率 10 fA/100 nV
        電壓范圍 70 V
        脈沖電流 10 A
        EOS 無EOS(任何正常操作和使用條件下)
        光學指標 光功率測量探測器類型Ge
        光功率波長范圍 800-1700 nm
        光功率測量范圍 10 μW-300 mW(>25 mW需加衰減片)
        光功率測量精度 <0.2 dB
        光譜測量范圍

        集成橫河AQ6360 或其他光譜儀

        光譜測量精度
        光功率耦合效率

        耦合功率>-15 dBm

        溫度控制指標 溫度控制方法 TEC
        溫度區域 2 個獨立的溫度控制區域(雙載臺)
        溫度范圍 25-100 ℃
        溫度變化速度(升溫/降溫)20 ℃/分鐘
        溫度分辨率 0.01 ℃
        溫度精度

        25-100 ℃: ±0.5 ℃+1%ΔT

        溫度一致性 <±0.5 ℃
        溫度穩定性 <±0.2 ℃
        測試參數 Ith重復性 ±1%
        功率重復性 ±1%
        SE 重復性 ±2%
        波長重復性 <±0.15 nm
        SMSR 重復性 <5 dB

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