PB6200 KGD測試分選系統-蘇州聯訊儀器股份有限公司

特點

設計靈活設計
Handler部分(PB6200)與測試部分分離，可擴展性強
多路并行測試
最多支持2個測試站，不同測試站支持不同測試條件與測試項目
支持動靜態參數測試
支持 2000V/200A 靜態測試，1200V/1000A 動態測試
溫度均勻性高
均勻性±0.5℃，準確性<0.5℃，分辨率 0.1℃

功能與優勢

運動整體架構

產品應用
聯訊儀器PB6200 KGD測試分選系統設計用于功率芯片SiC靜態&動態參數測試，支持Frame Ring上料包裝形式. 系統測試溫度范圍大，支持常溫到高溫200℃。為了解決高壓防打火問題，加電針卡為密封設計，測試過程中測試針卡內可充氮氣進行防打火保護。測試針卡采用特殊材料與專業設計，通流能力大，針痕可控，確保測試穩定性與測試精度。測試完成后支持下料分Bin，分Bin方式支持定制化選擇，比如生成Mapping或分不同Bin區域。
針卡設計

參數	指標
適用產品	SiC 芯片
圓片尺寸	4寸，6寸，8寸
靜態參數	Vds，Vth，Idss，Igss，Rds(on)，Vsd
動態參數	Eas，Rint，Ciss，Coss，Crss，Eoss
開關參數	Isc，Td(on)，Tr，Tf(off)，Tf，Eon，Eoff，Trr，Qrr，Irrm
系統功耗	<10kW
氮氣保護	>0.6mPa接入
溫度范圍	常溫～200℃
AC測試位數量	支持定制測試工位數量
DC測試位數量	支持定制測試工位數量
電流電壓過沖	任何情況下沒有過沖
MES對接	支持MES對接

通用指標和軟件

參數	指標
工作溫度	15-30℃
存儲溫度	-10-50℃
工作濕度	40-70%
存儲濕度	<90%
工作海拔	0-2km
供電功率	200-240 VAC，30 A，50-60 Hz
電磁兼容	滿足歐盟EMC標準
安全	滿足歐盟安全標準
認證	CE認證
軟件系統	Windows
軟件語言環境	VS/C#
軟件功能	測試計劃編輯，測試條件和參數Spec設置，芯片描述，
軟件功能	MES接口，測試數據管理和分析，校準維護，故障診斷

技術指標

靜態參數測試列表

測試類型	項目	說明
靜態測試參數	Vds	Drain - Source Voltage
	Vth	Gate Threshold Voltage
	Idss	Zero Gate Voltage Drain Current
	Igss	Gate-Source Leakage Current
	Rds(on)	Drain-Source On-State Resistance
	Vsd	Diode Forward Voltage

動態測試參數列表

測試類型	項目	說明
Characteristics	Eas	Avalanche Energy
	Rint	Gate Input Resistence
	Ciss	Input Capacitance
	Coss	Output Capacitance
	Crss	Reverse Transfer Capacitance
	Eoss	Coss Stored Energy
AC Characteristics	Isc	Short-circuit Current
	Td(on)	Turn-On Delay Time
	Tr	Rise Time
	Tf(off)	Turn-Off Delay Time
	Tf	Fall Time
	Eon	Turn Off Switching Energy
	Eoff	Fall Time
	Trr	Reverse Recovery Time
	Qrr	Reverse Recovery Charge
	Irrm	Peak Reverse Recovery Current

動態測試設備參數

BUS Voltage Ranges	Accuracy (%FS)
2000V	±2%
Gate Voltage Ranges	Accuracy (%FS)
30V	±5%
Current Ranges	Accuracy (%FS)
Switching current:10A-200A	±5%
Short circuit current :1000A	±5%
Waveform Sample Setting
4通道 8--16bit 1Gsps Max

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