特點
設計靈活設計
Handler部分(PB6400)與測試部分分離,可擴展性強多路并行測試
最多支持四個測試站,不同測試站支持不同測試條件與測試項目支持動靜態參數測試
支持 2000V/200A 靜態測試,2000V/1000A 動態測試溫度均勻性高
均勻性±0.5℃,準確性<0.5℃,分辨率 0.1℃參數 | 指標 |
適用產品 | SiC 芯片 |
圓片尺寸 | 4寸,6寸 ,8寸 |
靜態參數 | Vds,Vth,Idss,Igss,Rds(on),Vsd |
動態參數 | Eas,Rint,Ciss,Coss,Crss,Eoss |
開關參數 | Isc,Td(on),Tr,Tf(off),Tf,Eon,Eoff,Trr,Qrr,Irrm |
系統功耗 | <10kW |
氮氣保護 | >0.6mPa接入 |
溫度范圍 | 常溫-200℃ |
AC測試位數量 |
支持定制測試工位數量 |
DC測試位數量 | 支持定制測試工位數量 |
電流電壓過沖 | 任何情況下沒有過沖 |
MES對接 | 支持MES對接 |
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