激光器測試
CT8201
常高溫芯片測試機
特點
全自動化、智能化集成解決方案
高度集成全自動化解決方案,覆蓋非常復雜的測試流程高效率
提升效率,減少人為參與的潛在風險維護升級非常簡單
所有機構件可以獨立返廠方便使用
自動告警狀態和提示顯示,功能與優勢
全自動化、智能化集成解決方案
上料模組
本模組由頂針Z模組,X/Y運動模組,藍膜旋轉模組4個子功能模塊組成,左側為校準用底部相機,搭配上方識別相機,和吸嘴運動模組,實現 Chip 的取料功能。高溫、常溫測試模組
本模組由中空旋轉平臺,正反2個3軸Chip校準模組,3軸收光探測模組組成,搭配模組上方的ID/位置識別相機,和探針加電調整模組,完成上料后位置角度的校準工作,和Chip測試加電工作。PD/準直器使用運動軸實現功能快速切換。相機、探針加電模組
設備右側上料相機搭配上料模組,完成Chip的上料識別功能(可根據來料需求搭配不同功能組件) 高/常溫測試模組上方的相機(設備中部),在Chip的上料動作完成后,通過多次拍照搭配3軸運動模組,完成Chip的位置校準(高溫相機同步完成 Chip的ID識別)。下料分檔模組
下料模組配置4個載盤放置區域,可支持4個6寸藍膜, 或者根據客戶需求定制兼容的下料載具。參數類型 | 參數名稱 | 參數指標 |
系統參數 | 芯片類型 | 支持客戶指定的DFB與EML芯片 |
芯片尺寸 | 長&寬≥150um,高〉80um~150um | |
測試溫區 | 2 | |
測試項目 | 半導體激光器芯片前向/后向光學與電學性能 | |
測試參數 | Ith, Se, Iop, Pf, Vf, Kink, Rs, IRoll, λc, SMSR等可根據客戶需求進行增減 | |
OCR光學識別 | 自動OCR | |
Nip | 特殊設計的吸嘴結構,先從料盒剝離,然后吸起 | |
上料容器 | 1個6英寸藍膜或者4個Gel Pak(選配) | |
下料容器 | 4個6英寸藍膜或16個Gel Pak(選配) | |
分類 | 支持任何用戶自定義分類 | |
標準樣品控制 | 軟件支持標準樣品管控功能。如果標準樣品在本機臺測試超過時間周期(可配置),系統自動告警 | |
測試配置管控 | 軟件支持測試配置管控,包括測試儀表,測試算法, 測試序列,測試結果判斷等。 | |
測試數據 | 支持用戶要求的所有測試數據/支持MES相關的需求 | |
電學指標 | SMU類型 | 聯訊自研高精度源表或其他指定類型 |
直流電流 | 3A | |
I/V 源分辨率 | 10fA/100nV | |
I/V 測量分辨率 | 10fA/100nV最小電源分辨率(6位半) | |
電壓范圍 | 70V | |
脈沖電流 | 10A | |
正常工作條件下過充 | 無EOS | |
正常工作條件下下充 | 無EOS | |
異常工作條件下過充 | 無EOS | |
異常工作條件下下充 | 無EOS | |
光學指標 | 光功率測量探測器類型 | Ge |
光功率波長范圍 | 800~1700nm | |
光功率測量范圍 | 10uW-25mW(>25mW可增加衰減片測量) | |
光功率測量精度 | 0.1dB | |
光譜測量范圍 | 1250-1650nm (850 is an option) | |
光譜測量精度 | 0.1nm | |
功率耦合效率 | 耦合功率〉-15dBm@光譜測量 | |
EA DCER精度 | 0.2dB | |
溫度控制指標 | 溫度控制方法 | TEC |
溫度范圍 |
25~95℃ |
|
溫度區域 | 40℃/min | |
溫度下降速度 | 2個獨立的溫度控制區域(雙載臺) | |
升溫速度 | 40℃/分 | |
降溫速度 | 40°C/分 | |
溫度精度 | ±0.5°C | |
溫度穩定性 | ±0.2°C | |
測試參數指標 | Ith重復性 | ±1% |
功率重復性 | ±2% | |
波長重復性 | <±0.2nm | |
SMSR 重復性 | <3dB | |
OCR識別成功率 | 99% | |
測試時間 | <6s 完成所有操作,包括:上料、OCR識別、1次LIV 掃描、3次光譜掃描、下料、分類。 |
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